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零件厚度测量应用
我司提供精密Z轴作为运动组件，搭配客户的CCD、传感器等检测装备实现非接触式厚度测量。
测量工序
被测工件进行上下端面擦拭；
旋转校正平台，工业相机拍照；
旋转平台依照设定的角度进行圆周校正；
进入大理石平台测试区域，Z轴上下调整；
测量系统结合测量平台高度位移传感器以及产品测量位移传感器数据，精确计算产品厚度。
精度指标
-重复定位精度±75nm
-点到
点移动，调整焦距，微动步距≤50
nm
-定位纹波≤50nm
-速度100mm/s
结构特点
被测工件进行上下端面擦拭；
旋转校正平台，工业相机拍照；
旋转平台依照设定的角度进行圆周校正；
进入大理石平台测试区域，Z轴上下调整；
测量系统结合测量平台高度位移传感器以及产品测量位移传感器数据，精确计算产品厚度。
